真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在关位置 。
② 打开总电源开关，设备送电 。
③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后 ，启动升钟罩阀 ，钟罩升起 。
④ 安装固定钨螺旋加热子 。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内 。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物 。
⑤ 落下钟罩。
⑥ 启动抽真空机械泵 。
⑦ 开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A) 。
a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表“2”内指针顺时针移动 ，当指针移动至110mA时 ，左旋钮1旋转至指向2区段测量位置 。
⑧ 当低真空表“2 ”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入 。这时左旋钮“1 ”旋转至指向1区段测量位置。
⑨ 真空镀膜机开通冷却水 ，启动扩散泵 ，加热40min。
⑩ 低压阀拉出 。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置 。低真空表“2 ”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时 ，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
等低真空表“2 ”内指针右移动至0.1Pa时 ，开规管灯丝开关 。a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置 。
b. 左下旋钮“1 ”旋转至指向1区段测量位置。
旋转发射调节钮“4 ”，使高压真空表“5”内指针指向5 。 发射 、零点 、测量旋钮“9 ”旋转至指向零点位置 。 旋转零点调节钮“10 ” ，让高压真空表“5”内指针指向0位置。 发射、零点 、测量旋钮“9 ”旋转至指向测量位置 。 旋转标准调节钮“3 ” ，让高压真空表“5”内指针指向10 。 旋转“倍加器”开关钮“8 ”至指向10-12，当高压真空表“5 ”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8 ”旋转至指向10-3。 当高压真空表“5 ”内指针逆时针移动超过6.7Pa时 ，开工件旋转钮开关 ，钟罩内被镀件PVDF膜转动 。 开蒸发钮开关 。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1 、 2、 3 、 4孔，可插入任意一孔）。 右手旋转右侧调压器手轮 ，慢慢旋转升压。a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况 。
b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色 ，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮 ，移开钨螺旋上方挡板 。
c. 铝丝全部熔化蒸发 ，挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位 。第一次蒸镀工作完成 。
21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作 。
22. 关闭规管灯丝开关 。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转 。关闭蒸发 。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出 。钟罩充气 。充气一段时间，当没有气.声时 ，升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 （原下面已镀一层铝膜面向上） 。紧固在转动圆盘上 。
25. 落钟罩。开机械泵 。
a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置 。
b. 当低压真空表“2 ”内指针顺时针移动到6.7Pa时 ，低压阀推入。
c. 左下旋钮“1 ”旋转至指向1区段测量位置 。
d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀 。旋钮“1 ”旋转至指向2区段测量位置。
e. 当低压真空表“2 ”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时 ，开规管灯丝 。
f. 由?开始重复操作至? 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后 ，按顺序关闭规管灯丝 、高压阀、机械泵 、扩散泵。把低压阀拉出 。钟罩充气，充气完毕后升钟罩 。取出工件，做好钟罩内清理工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵 ，抽3~5min ，停机械泵 。
c. 切断供电总开关 。
d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成 。
27. 正常生产中，如遇到突然停电时 ，要立即切断高真空测量 ，关闭规管灯丝，高压阀 、低压阀拉出 。来电后 ，先让机械泵启动工作3~5min后 ，再转入正常生产。
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文章不错《真空镀膜机的操作程序》内容很有帮助